Продукция
-
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
-
Приводной вал
-
Складской шаттл
-
Детали из углепластика
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
Ролик
-
Система распределения высокочистых химических реагентов
-
Башенный вертикальный подъемник
-
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
-
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
-
Поддон
-
PEALD
-
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
-
Каркас и корпус оборудования
-
Мостовой кран
-
Система управления оборудованием склада (WCS)
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
Описание
маркер
Описание продукции
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
Система выполнена в модульной интегрированной конструкции. Трубопроводы и камеры изготовлены из высокочистого PFA, PTFE и коррозионностойкой стали 316L, обладают стойкостью к сильным кислотам и щелочам, низкой вымываемостью, отсутствием загрязнений и полностью соответствуют высоким стандартам чистоты в отрасли. Оснащена высокоточным модулем онлайн-контроля концентрации, позволяющим в реальном времени отслеживать концентрацию, температуру и уровень жидкости, обеспечивая высокую точность регулировки. Поддерживается автоматическое дозирование и разбавление, динамическая доливка жидкости и адаптивная настройка параметров.
Оборудование включает многоступенчатые фильтры, блоки разделения, регенерации и рециркуляции, позволяющие очищать и восстанавливать отработанный проявитель для повторного использования, эффективно снижая расход сырья и затраты на утилизацию опасных отходов. Оснащено интеллектуальной системой управления на базе ПЛК, поддерживает прослеживаемость данных, удаленный мониторинг и блокировку сигнализации, а также бесшовную интеграцию с заводскими системами подачи химикатов и производственным оборудованием.
Широко применяется в процессах очистки пластин, травления, фотолитографии и проявления, адаптировано для различных кислотных, щелочных и органических химикатов, обеспечивая стабильность производства, контроль выхода годных изделий и соответствие требованиям энергоэффективности и экологичности.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
Мы предоставляем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, производство, монтаж и пусконаладку автоматизированных кранов-штабелеров, которые адаптированы для применения во всех отраслях промышленности, таких как полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке рельсовой системы адресной доставки для медицинских учреждений, предназначенной для логистической транспортировки в лечебных учреждениях. Решения адаптированы для отделений больниц и диагностических подразделений, охватывают ключевые сценарии: центры приготовления инфузионных растворов, центральные аптеки, лаборатории, патологоанатомические отделения, операционные, центры стерилизации и снабжения, склады.
Система распределения высокочистых химических реагентов
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку конвейеров, которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Приводной вал
Данная серия трансмиссионных валов и роликовых узлов специально разработана для оборудования транспортировки подложек в полупроводниковой и панельной промышленности. Изделия объединяют трансмиссионные валы, трансмиссионные ролики, токопроводящие ролики из UPE, ролики для транспортировки подложек и компоненты конвейерной ленты (CV), формируя ключевой транспортный блок чистых производственных линий.
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
Данная серия фитингов и труб из материала PFA (перфторалкокси) / PVDF специально разработана для систем сверхвысокой чистоты и сильно агрессивных жидкостей. Ассортимент включает фитинги PFA (Fitting), соединительные муфты PFA (Union), угловые соединения PFA (ELBOW), тройники PFA (TEE), переходники PFA (REDUCING), а также соответствующие трубы PFA TUBE / PFA PIPE для удовлетворения различных потребностей в соединении трубопроводов.
Поддон
Мы предлагаем вам комплексное решение по поддонам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые поддоны, стальные поддоны и поддоны по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, гидравлические тележки, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии и AGV.
Каркас и корпус оборудования
Данные каркас и корпус оборудования специально разработаны для промышленного автоматизированного оборудования. Они состоят из высокопрочного каркаса и защитной рамы. Доступны следующие материалы: алюминиевый профилированный каркас, нержавеющая сталь SUS304, слоново-белый поливинилхлорид (Ivory PVC) и прозрачный поливинилхлорид (PVC). Изделия подходят для использования в чистых и коррозионных средах.
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
Ходовое колесо
Данные полиуретановые обрезиненные ходовые колёса специально разработаны для тяжелонагруженного оборудования, такого как штабелёры и мостовые краны, и выполняют двойную функцию ходовых и направляющих колёс, являясь ключевыми ходовыми компонентами автоматизированных складских и подъёмных устройств.
Складской контейнер
Мы предлагаем вам комплексное решение по контейнерам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые контейнеры, металлические контейнеры и контейнеры по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии, AGV, шаттлы для контейнеров и станции комплектации.
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Складской шаттл
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку складского шаттла, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
