Продукция
-
Автоматически управляемая тележка (AGV)
-
Конвейер
-
Детали из углепластика
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
-
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
-
Ролик
-
Автоматическая линия упаковки материалов
-
Паллетайзеры и депаллетайзеры
-
Автоматизированная линия паллетирования
-
Анализатор остаточных газов (RGA)
-
Складской шаттл
-
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
-
Башенный вертикальный подъемник
-
Ходовое колесо
-
PEALD
Керамический нагреватель
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Описание
маркер
Описание продукции
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Обладает отличными изоляционными свойствами и крайне низким газовыделением, что позволяет использовать его в условиях высокого вакуума без загрязнения плёнок в камере. Монолитная конструкция устойчива к коррозии и воздействию различных технологических прекурсоров и плазменных сред. Модульная конструкция облегчает монтаж и техническое обслуживание, совместима с системами управления по промышленной шине для точной синхронизации с циклами охлаждения и выравнивания камеры.
Оснащён интегрированными интерфейсами для нагрева, терморегулирования и обратного гелиевого охлаждения, обеспечивает равномерное распределение температуры по всей пластине, повышая однородность осаждаемых плёнок. Широко применяется в серийном производстве силовой электроники и полупроводниковых чипов, позволяя эффективно снизить процент брака технологических операций.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Паллетайзеры и депаллетайзеры
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку паллетайзеров и депаллетайзеров, специализирующихся на автоматизированной разборке и формировании поддонов, складских контейнеров и других носителей.
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку конвейеров, которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Мостовой кран
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку мостового крана, которые полностью адаптированы для применения во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Каркас и корпус оборудования
Данные каркас и корпус оборудования специально разработаны для промышленного автоматизированного оборудования. Они состоят из высокопрочного каркаса и защитной рамы. Доступны следующие материалы: алюминиевый профилированный каркас, нержавеющая сталь SUS304, слоново-белый поливинилхлорид (Ivory PVC) и прозрачный поливинилхлорид (PVC). Изделия подходят для использования в чистых и коррозионных средах.
Ролик
Мы предлагаем вам комплексное решение по промышленным конвейерным роликам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает ролики с зубчатыми колёсами, ролики с поликлиновым ремнём, ролики с синхронным ремнём, ролики с O-образным ремнём, обрезиненные ролики и антистатические обрезиненные ролики.
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
6” и 8” — Тонкие плёнки (Thin Film) A*** P5000 Platform — SACVD, PECVD, WCVD A*** Centura CVD — DxZ, WxZ, HDP A*** Producer CVD N*** Concept-1 N*** Concept-2: Sequel, Altus, Speed
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Приводной вал
Данная серия трансмиссионных валов и роликовых узлов специально разработана для оборудования транспортировки подложек в полупроводниковой и панельной промышленности. Изделия объединяют трансмиссионные валы, трансмиссионные ролики, токопроводящие ролики из UPE, ролики для транспортировки подложек и компоненты конвейерной ленты (CV), формируя ключевой транспортный блок чистых производственных линий.
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
Солнечное оборудование мокрой обработки (Solar) является ключевым технологическим инструментом в производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов. Оно объединяет три основных процесса — очистку, текстурирование и травление — и специально разработано для высокоэффективных структур, таких как PERC (пассивированный эмиттер и тыльный контакт), TOPCon (туннельно-оксидный пассивирующий контакт) и HJT (гетеропереходные элементы), напрямую определяя эффективность преобразования элементов и выход годных изделий при серийном производстве.
PVD
Данная серия установок физического осаждения из газовой фазы (PVD) для полупроводниковой промышленности предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 125–200 мм и подложек из карбида кремния (SiC), совместима с пластинами, имеющими срез или выемку. Применяется для осаждения тонких пленок металлов, сплавов, барьерных слоев и оптических покрытий.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
Мы предоставляем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, производство, монтаж и пусконаладку автоматизированных кранов-штабелеров, которые адаптированы для применения во всех отраслях промышленности, таких как полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Распылительная трубка
Данная серия систем оросительных труб специально разработана для промышленной очистки и технологического орошения. Поддерживается выбор материалов из поливинилхлорида (ПВХ) или нержавеющей стали (SUS). Система адаптирована для работы с различными средами, включая химические растворы и чистую воду.
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке рельсовой системы адресной доставки для медицинских учреждений, предназначенной для логистической транспортировки в лечебных учреждениях. Решения адаптированы для отделений больниц и диагностических подразделений, охватывают ключевые сценарии: центры приготовления инфузионных растворов, центральные аптеки, лаборатории, патологоанатомические отделения, операционные, центры стерилизации и снабжения, склады.
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
