Продукция
-
Каркас и корпус оборудования
-
Система управления оборудованием склада (WCS)
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
Автоматизированная линия паллетирования
-
Вертикальный конвейер
-
Паллетайзеры и депаллетайзеры
-
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
-
Детали из углепластика
-
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
-
Ролик
-
Поддон
-
Система распределения высокочистых химических реагентов
-
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
-
Ходовое колесо
-
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
-
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
Описание
маркер
Описание продукции
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева. Установка оснащена модульной вакуумной камерой, высокоточной газораспределительной системой и полностью автоматизированной системой терморегулирования. Осаждаемые плёнки отличаются высокой однородностью и плотностью, низкими механическими напряжениями, превосходной шаговой покрывающей способностью, стабильной и контролируемой скоростью осаждения. Оборудование адаптировано для работы с различными типами подложек, включая кремниевые пластины, стекло и гибкие основания.
Установка проста в эксплуатации, оснащена интеллектуальной системой управления с функцией однокнопочного сохранения технологических параметров, имеет многоуровневую защиту по вакууму и газовой магистрали, отличается низкими эксплуатационными затратами. Широко применяется в производстве полупроводниковых чипов, фотоэлектрических элементов, дисплейных панелей, микроэлектромеханических систем (MEMS) и оптических компонентов, обеспечивая технологическую совместимость и стабильность серийного выпуска. Является ключевым оборудованием для процессов нанесения тонких плёнок.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Паллетайзеры и депаллетайзеры
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку паллетайзеров и депаллетайзеров, специализирующихся на автоматизированной разборке и формировании поддонов, складских контейнеров и других носителей.
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
Стеллажные конструкции
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматизированных складских стеллажных конструкций, специально разработанных для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
Мы предоставляем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, производство, монтаж и пусконаладку автоматизированных кранов-штабелеров, которые адаптированы для применения во всех отраслях промышленности, таких как полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Система управления складом (WMS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по анализу требований, проектированию системы и развертыванию интеллектуальной системы управления складом (WMS), адаптированные для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Ходовое колесо
Данные полиуретановые обрезиненные ходовые колёса специально разработаны для тяжелонагруженного оборудования, такого как штабелёры и мостовые краны, и выполняют двойную функцию ходовых и направляющих колёс, являясь ключевыми ходовыми компонентами автоматизированных складских и подъёмных устройств.
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Башенный вертикальный подъемник
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку башенного вертикального подъемника, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
PEALD
Данная серия установок плазменно-усиленного атомно-слоевого осаждения (PEALD) обеспечивает реализацию процессов осаждения тонких пленок SiO₂ и SiNₓ и предназначена для прецизионного нанесения покрытий в полупроводниковом производстве.
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
6” и 8” — Тонкие плёнки (Thin Film) A*** P5000 Platform — SACVD, PECVD, WCVD A*** Centura CVD — DxZ, WxZ, HDP A*** Producer CVD N*** Concept-1 N*** Concept-2: Sequel, Altus, Speed
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматическая линия упаковки материалов
Автоматическая линия упаковки материалов является интеллектуальным решением для последующих упаковочных операций в пищевой промышленности и производстве товаров бытовой химии, объединяющим процессы открытия коробок, укладки, запечатывания и этикетирования. Специально разработана для сценариев упаковки пищевых продуктов, обеспечивая полностью автоматизированный процесс от подачи материалов до выхода готовой продукции.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Детали из инженерных пластиков
Данная серия инженерных пластиковых деталей изготовлена из высокоэффективных материалов PEEK (полиэфирэфиркетон) / PI (полиимид) и включает в себя различные прецизионные компоненты, такие как контактные штыри (PIN), ролики (ROLLER), прокладки (PAD). Продукция специально разработана для применения в высокотехнологичных отраслях, включая полупроводниковую промышленность и промышленную автоматизацию.
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки представляет собой интегрированную интеллектуальную систему, специально разработанную для механических деталей, зубчатых колёс и различных обрабатываемых заготовок. Линия объединяет функции автоматической загрузки, прецизионной ультразвуковой очистки, многоступенчатой промывки, обдува воздухом для удаления воды и горячей воздушной сушки, обеспечивая за один цикл полный комплекс операций по удалению масел, стружки, загрязнений и сушке с фиксацией состояния деталей.
