
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
ООО Нанкин Хуаитай Электронные Технологии — это высокотехнологичное предприятие, профессионально занимающееся исследованиями, разработками и производством высокотехнологичного прецизионного нестандартного автоматизированного оборудования, основной продукцией являются системы подачи химикатов (CCSS), автоматизированные системы транспортировки материалов (AMHS), фармацевтическое автоматизированное погрузочно-разгрузочное оборудование, автоматическое упаковочное оборудование, компания предоставляет индивидуальные решения в области промышленной автоматизации и полнопроцессные технические услуги, ориентированные на рынок России и глобальный рынок.