
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Генераторы озона отличаются более низким энергопотреблением при аналогичных рабочих условиях и превосходными характеристиками низкотемпературного охлаждения. COS и ODS поддерживают многомодульную конфигурацию, обеспечивая стабильную концентрацию озона при колебаниях давления; ключевые компоненты производятся в Китае. DIO3 выпускается в двух исполнениях — с рециркуляцией и прямоточном, оснащён надёжным интегрированным накопительным баком и совместим с тремя типами смесительных процессов. В комплекте поставляется анализатор G452 с двухлучевой системой пробоотбора и выбором нескольких диапазонов измерения. Каталитический разрушитель озона OD-C40 оснащён высокоэффективным каталитическим слоем и доступен в нескольких вариантах производительности.
Комплект оборудования отличается высокой степенью интеграции и стабильностью работы, адаптирован для полного цикла подачи озона, мониторинга концентрации и безопасной нейтрализации отходящих газов на линиях полупроводниковых плёночных процессов.