Продукция
-
Складской контейнер
-
Вертикальный конвейер
-
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
-
Ролик
-
Ходовое колесо
-
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
-
Каркас и корпус оборудования
-
Распылительная трубка
-
Складской шаттл
-
Приводной вал
-
Автоматическая линия упаковки материалов
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
Керамический нагреватель
-
Стеллажные конструкции
-
Электростатический зажим (ESC)
-
Автоматизированная линия паллетирования
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Описание
маркер
Описание продукции
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин. Прибор выполнен на основе компактного квадрупольного масс-спектрометра, позволяющего в режиме реального времени проводить качественный и количественный анализ следовых количеств паров воды, кислорода, гелия и побочных продуктов технологических процессов в камере, обеспечивая точное обнаружение микротечей и источников газовыделения материалов.
Прибор имеет компактную конструкцию и может быть непосредственно интегрирован в вакуумную камеру. Отличается высоким быстродействием и чувствительностью на уровне ppb. Оснащён интеллектуальным программным обеспечением для анализа, автоматически регистрирующим данные парциального давления газов; при превышении заданных пороговых значений подаётся звуковой и световой сигнал тревоги. Обеспечивает непрерывный онлайн-мониторинг вакуумной чистоты камеры, позволяя заблаговременно выявлять утечки и загрязнения, предотвращая брак пластин. Модульная конструкция облегчает монтаж и техническое обслуживание, прибор совместим с промышленными шинами управления. Широко применяется для течиискания и контроля технологической среды на линиях серийного производства пластин из кремния и карбида кремния.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Детали из инженерных пластиков
Данная серия инженерных пластиковых деталей изготовлена из высокоэффективных материалов PEEK (полиэфирэфиркетон) / PI (полиимид) и включает в себя различные прецизионные компоненты, такие как контактные штыри (PIN), ролики (ROLLER), прокладки (PAD). Продукция специально разработана для применения в высокотехнологичных отраслях, включая полупроводниковую промышленность и промышленную автоматизацию.
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
6” и 8” — Тонкие плёнки (Thin Film) A*** P5000 Platform — SACVD, PECVD, WCVD A*** Centura CVD — DxZ, WxZ, HDP A*** Producer CVD N*** Concept-1 N*** Concept-2: Sequel, Altus, Speed
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке рельсовой системы адресной доставки для медицинских учреждений, предназначенной для логистической транспортировки в лечебных учреждениях. Решения адаптированы для отделений больниц и диагностических подразделений, охватывают ключевые сценарии: центры приготовления инфузионных растворов, центральные аптеки, лаборатории, патологоанатомические отделения, операционные, центры стерилизации и снабжения, склады.
Детали из углепластика
Детали из армированного углеродным волокном пластика представляют собой высокопроизводительные конструкционные элементы, специально разработанные для сценариев промышленной автоматизации. Основа изделия — высокомодульное углеродное волокно и специальное полимерное связующее.
Стеллажные конструкции
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматизированных складских стеллажных конструкций, специально разработанных для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Ролик
Мы предлагаем вам комплексное решение по промышленным конвейерным роликам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает ролики с зубчатыми колёсами, ролики с поликлиновым ремнём, ролики с синхронным ремнём, ролики с O-образным ремнём, обрезиненные ролики и антистатические обрезиненные ролики.
Приводной вал
Данная серия трансмиссионных валов и роликовых узлов специально разработана для оборудования транспортировки подложек в полупроводниковой и панельной промышленности. Изделия объединяют трансмиссионные валы, трансмиссионные ролики, токопроводящие ролики из UPE, ролики для транспортировки подложек и компоненты конвейерной ленты (CV), формируя ключевой транспортный блок чистых производственных линий.
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Керамический нагреватель
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
PVD
Данная серия установок физического осаждения из газовой фазы (PVD) для полупроводниковой промышленности предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 125–200 мм и подложек из карбида кремния (SiC), совместима с пластинами, имеющими срез или выемку. Применяется для осаждения тонких пленок металлов, сплавов, барьерных слоев и оптических покрытий.
Автоматически управляемая тележка (AGV)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку автоматически управляемых тележек (AGV) и рельсовых управляемых тележек (RGV), которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматизированная линия паллетирования
Автоматизированная линия паллетирования охватывает потребности в двух измерениях: «комплектная линия» и «основное моноблочное оборудование», интегрируя полный цикл транспортировки, позиционирования, захвата и паллетирования, обеспечивая автоматизированную обработку штучных грузов от подачи до готового поддона без участия оператора.
