Продукция
-
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
-
Вертикальный конвейер
-
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
-
Мостовой кран
-
Ходовое колесо
-
Автоматизированная линия паллетирования
-
Ролик
-
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
-
Складской контейнер
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
PVD
-
Башенный вертикальный подъемник
-
Стеллажные конструкции
-
Конвейер
-
Анализатор остаточных газов (RGA)
-
Автоматическая линия упаковки материалов
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
Солнечное оборудование мокрой обработки (Solar) является ключевым технологическим инструментом в производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов. Оно объединяет три основных процесса — очистку, текстурирование и травление — и специально разработано для высокоэффективных структур, таких как PERC (пассивированный эмиттер и тыльный контакт), TOPCon (туннельно-оксидный пассивирующий контакт) и HJT (гетеропереходные элементы), напрямую определяя эффективность преобразования элементов и выход годных изделий при серийном производстве.
Описание
маркер
Описание продукции
Солнечное оборудование мокрой обработки (Solar) является ключевым технологическим инструментом в производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов. Оно объединяет три основных процесса — очистку, текстурирование и травление — и специально разработано для высокоэффективных структур, таких как PERC (пассивированный эмиттер и тыльный контакт), TOPCon (туннельно-оксидный пассивирующий контакт) и HJT (гетеропереходные элементы), напрямую определяя эффективность преобразования элементов и выход годных изделий при серийном производстве.
Оборудование выполнено в модульной цепной конфигурации. Основная рама изготовлена из высокопрочного коррозионностойкого материала, технологические камеры — из поливинилиденфторида (PVDF) / полипропилена (PP), стойких к сильным кислотам и щелочам, а ключевые узлы оснащены нержавеющей футеровкой. Степень защиты — IP65, что обеспечивает стабильную работу в условиях высокой температуры, повышенной влажности и агрессивной коррозионной среды, а также соответствует требованиям чистых производственных помещений.
Ключевые технологические процессы с высокоточным управлением:
Блок очистки — многоступенчатая кислотно-щелочная очистка и промывка деионизированной водой удаляют повреждённый слой, масла и металлические загрязнения с поверхности кремниевой пластины, достигая полупроводникового уровня чистоты.
Блок текстурирования — химическое травление формирует однородную пирамидальную текстуру, снижая коэффициент отражения света до уровня ниже 10% и повышая эффективность поглощения света.
Блок травления — обеспечивает прецизионную изоляцию краёв и полировку тыльной стороны. Отклонение глубины травления контролируется в пределах ±5 мкм, что предотвращает риск токов утечки.
Оборудование совместимо с кремниевыми пластинами всех размеров от 182 до 230 мм. Производительность достигает 20 000 пластин в час, процент брака — менее 0,3‰, однородность текстуры — менее 1%. Система оснащена замкнутым циклом рециркуляции химических растворов и онлайн-мониторингом, обеспечивая регулировку концентрации, температуры и расхода растворов в реальном времени. Поддерживается полная отслеживаемость технологических параметров, быстрая смена рецептов одним нажатием и удалённое обслуживание. Оборудование может работать автономно или интегрироваться в производственную линию без зазоров, адаптируясь к различным масштабам производства. Оно помогает производителям фотоэлектрических элементов добиться высокой эффективности, стабильности и низкой себестоимости массового производства, ускоряя индустриализацию высокоэффективных солнечных технологий.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Башенный вертикальный подъемник
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку башенного вертикального подъемника, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Складской шаттл
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку складского шаттла, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Система распределения высокочистых химических реагентов
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Керамический нагреватель
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Автоматически управляемая тележка (AGV)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку автоматически управляемых тележек (AGV) и рельсовых управляемых тележек (RGV), которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Ходовое колесо
Данные полиуретановые обрезиненные ходовые колёса специально разработаны для тяжелонагруженного оборудования, такого как штабелёры и мостовые краны, и выполняют двойную функцию ходовых и направляющих колёс, являясь ключевыми ходовыми компонентами автоматизированных складских и подъёмных устройств.
Паллетайзеры и депаллетайзеры
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку паллетайзеров и депаллетайзеров, специализирующихся на автоматизированной разборке и формировании поддонов, складских контейнеров и других носителей.
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Автоматизированная линия паллетирования
Автоматизированная линия паллетирования охватывает потребности в двух измерениях: «комплектная линия» и «основное моноблочное оборудование», интегрируя полный цикл транспортировки, позиционирования, захвата и паллетирования, обеспечивая автоматизированную обработку штучных грузов от подачи до готового поддона без участия оператора.
Ролик
Мы предлагаем вам комплексное решение по промышленным конвейерным роликам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает ролики с зубчатыми колёсами, ролики с поликлиновым ремнём, ролики с синхронным ремнём, ролики с O-образным ремнём, обрезиненные ролики и антистатические обрезиненные ролики.
PEALD
Данная серия установок плазменно-усиленного атомно-слоевого осаждения (PEALD) обеспечивает реализацию процессов осаждения тонких пленок SiO₂ и SiNₓ и предназначена для прецизионного нанесения покрытий в полупроводниковом производстве.
Автоматическая линия упаковки материалов
Автоматическая линия упаковки материалов является интеллектуальным решением для последующих упаковочных операций в пищевой промышленности и производстве товаров бытовой химии, объединяющим процессы открытия коробок, укладки, запечатывания и этикетирования. Специально разработана для сценариев упаковки пищевых продуктов, обеспечивая полностью автоматизированный процесс от подачи материалов до выхода готовой продукции.
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
