Продукция
-
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
-
Ходовое колесо
-
Конвейер
-
Ролик
-
Электростатический зажим (ESC)
-
Детали из инженерных пластиков
-
Башенный вертикальный подъемник
-
PVD
-
Анализатор остаточных газов (RGA)
-
Керамический нагреватель
-
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
-
Складской контейнер
-
PEALD
-
Автоматически управляемая тележка (AGV)
-
Мостовой кран
-
Автоматическая линия упаковки материалов
Система распределения высокочистых химических реагентов
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Описание
маркер
Описание продукции
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Система выполнена в модульной архитектуре, интегрирует блоки хранения жидкостей, регулирования давления, точной фильтрации, температурного контроля и распределительные узлы VMB. Все потоки изготовлены из высокочистого PFA/PTFE, несущая конструкция — из нержавеющей стали SUS304 и антикоррозионного пластика PP, что обеспечивает низкую вымываемость и высокую коррозионную стойкость, соответствует стандарту высокой чистоты SEMI F57. Система поддерживает централизованную и локальную подачу, точное распределение по нескольким ветвям через VMB, точность подачи до уровня ppm, эффективно обеспечивая стабильность концентрации и давления химикатов.
Система оснащена интеллектуальной системой управления на базе ПЛК с функциями обнаружения утечек, сигнализации перегрева, аварийного отключения и удаленного мониторинга, может бесшовно интегрироваться с MES, обеспечивая круглосуточную непрерывную подачу химикатов 24/7. Данная система широко применяется в процессах влажной очистки, травления, фотолитографии и проявления, совместима с электронными химикатами HF, H₂SO₄, H₂O₂ и другими, эффективно обеспечивая чистоту технологических процессов и непрерывность производства.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку конвейеров, которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Поддон
Мы предлагаем вам комплексное решение по поддонам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые поддоны, стальные поддоны и поддоны по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, гидравлические тележки, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии и AGV.
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматизированная линия паллетирования
Автоматизированная линия паллетирования охватывает потребности в двух измерениях: «комплектная линия» и «основное моноблочное оборудование», интегрируя полный цикл транспортировки, позиционирования, захвата и паллетирования, обеспечивая автоматизированную обработку штучных грузов от подачи до готового поддона без участия оператора.
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
6” и 8” — Тонкие плёнки (Thin Film) A*** P5000 Platform — SACVD, PECVD, WCVD A*** Centura CVD — DxZ, WxZ, HDP A*** Producer CVD N*** Concept-1 N*** Concept-2: Sequel, Altus, Speed
Автоматически управляемая тележка (AGV)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку автоматически управляемых тележек (AGV) и рельсовых управляемых тележек (RGV), которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке рельсовой системы адресной доставки для медицинских учреждений, предназначенной для логистической транспортировки в лечебных учреждениях. Решения адаптированы для отделений больниц и диагностических подразделений, охватывают ключевые сценарии: центры приготовления инфузионных растворов, центральные аптеки, лаборатории, патологоанатомические отделения, операционные, центры стерилизации и снабжения, склады.
Ролик
Мы предлагаем вам комплексное решение по промышленным конвейерным роликам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает ролики с зубчатыми колёсами, ролики с поликлиновым ремнём, ролики с синхронным ремнём, ролики с O-образным ремнём, обрезиненные ролики и антистатические обрезиненные ролики.
Складской контейнер
Мы предлагаем вам комплексное решение по контейнерам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые контейнеры, металлические контейнеры и контейнеры по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии, AGV, шаттлы для контейнеров и станции комплектации.
Керамический нагреватель
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Детали из углепластика
Детали из армированного углеродным волокном пластика представляют собой высокопроизводительные конструкционные элементы, специально разработанные для сценариев промышленной автоматизации. Основа изделия — высокомодульное углеродное волокно и специальное полимерное связующее.
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
Солнечное оборудование мокрой обработки (Solar) является ключевым технологическим инструментом в производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов. Оно объединяет три основных процесса — очистку, текстурирование и травление — и специально разработано для высокоэффективных структур, таких как PERC (пассивированный эмиттер и тыльный контакт), TOPCon (туннельно-оксидный пассивирующий контакт) и HJT (гетеропереходные элементы), напрямую определяя эффективность преобразования элементов и выход годных изделий при серийном производстве.
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
