Продукция
-
Распылительная трубка
-
Складской контейнер
-
Складской шаттл
-
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
-
Вертикальный конвейер
-
Анализатор остаточных газов (RGA)
-
Башенный вертикальный подъемник
-
PVD
-
Приводной вал
-
Ходовое колесо
-
Электростатический зажим (ESC)
-
Паллетайзеры и депаллетайзеры
-
Каркас и корпус оборудования
-
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
-
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
-
Стеллажные конструкции
PEALD
Данная серия установок плазменно-усиленного атомно-слоевого осаждения (PEALD) обеспечивает реализацию процессов осаждения тонких пленок SiO₂ и SiNₓ и предназначена для прецизионного нанесения покрытий в полупроводниковом производстве.
Описание
маркер
Описание продукции
Данная серия установок плазменно-усиленного атомно-слоевого осаждения (PEALD) обеспечивает реализацию процессов осаждения тонких пленок SiO₂ и SiNₓ и предназначена для прецизионного нанесения покрытий в полупроводниковом производстве. Оборудование оснащено полным комплектом отработанных газораспределительных и вакуумных систем, поддерживает подачу различных технологических газов, включая BDEAS, SiH₄, NH₃, NF₃ и другие специальные газы. Для подачи газов используются масс-расходомеры BROOKS и специализированные ALD-импульсные клапаны FITOK, обеспечивающие высокую точность и стабильность дозирования.
Для контроля вакуумного давления применяются вакуумметры Serta серии 730G с диапазоном измерения до 100 торр. Плазменная система оснащена ВЧ-генератором ADTEC TX20 с согласующим устройством, рабочая частота — 13,56 МГц, обеспечивается равномерный и контролируемый выход плазмы. Для размещения пластин используется керамический нагревательный пьедестал с равномерным распределением температурного поля. На выходе установлена система дистанционной плазменной очистки MKS AX7650 объемом 2 л, обеспечивающая эффективное удаление побочных продуктов из камеры и поддержание стабильности процесса. Все комплектующие установки — ведущих мировых производителей. Осаждаемые пленки отличаются превосходной однородностью толщины и шаговой покрывающей способностью, оборудование адаптировано для серийного производства силовой электроники и диэлектрических слоев в передовой упаковке.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Система управления складом (WMS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по анализу требований, проектированию системы и развертыванию интеллектуальной системы управления складом (WMS), адаптированные для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки представляет собой интегрированную интеллектуальную систему, специально разработанную для механических деталей, зубчатых колёс и различных обрабатываемых заготовок. Линия объединяет функции автоматической загрузки, прецизионной ультразвуковой очистки, многоступенчатой промывки, обдува воздухом для удаления воды и горячей воздушной сушки, обеспечивая за один цикл полный комплекс операций по удалению масел, стружки, загрязнений и сушке с фиксацией состояния деталей.
Конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку конвейеров, которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов представляет собой интеллектуальное оборудование для мокрых процессов в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Она объединяет в себе разбавление проявителя, автоматическую подачу жидкости, рекуперацию отработанных растворов, контроль концентрации и точное управление, обеспечивая замкнутый цикл от приготовления и подачи до использования и регенерации.
Складской контейнер
Мы предлагаем вам комплексное решение по контейнерам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые контейнеры, металлические контейнеры и контейнеры по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии, AGV, шаттлы для контейнеров и станции комплектации.
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
Данное оборудование представляет собой интегрированную автоматизированную линию дозирования и упаковки порошкообразных материалов. Оно разработано специально для работы с различными типами порошков и полностью удовлетворяет требованиям к дозированию и упаковке как обычных порошковых масс, так и опасных грузов.
Складской шаттл
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку складского шаттла, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический кран-штабелер (АКШ)
Мы предоставляем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, производство, монтаж и пусконаладку автоматизированных кранов-штабелеров, которые адаптированы для применения во всех отраслях промышленности, таких как полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
PVD
Данная серия установок физического осаждения из газовой фазы (PVD) для полупроводниковой промышленности предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 125–200 мм и подложек из карбида кремния (SiC), совместима с пластинами, имеющими срез или выемку. Применяется для осаждения тонких пленок металлов, сплавов, барьерных слоев и оптических покрытий.
Ходовое колесо
Данные полиуретановые обрезиненные ходовые колёса специально разработаны для тяжелонагруженного оборудования, такого как штабелёры и мостовые краны, и выполняют двойную функцию ходовых и направляющих колёс, являясь ключевыми ходовыми компонентами автоматизированных складских и подъёмных устройств.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Паллетайзеры и депаллетайзеры
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку паллетайзеров и депаллетайзеров, специализирующихся на автоматизированной разборке и формировании поддонов, складских контейнеров и других носителей.
Поддон
Мы предлагаем вам комплексное решение по поддонам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые поддоны, стальные поддоны и поддоны по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, гидравлические тележки, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии и AGV.
Система распределения высокочистых химических реагентов
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
