Продукция
-
Мостовой кран
-
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
-
Распылительная трубка
-
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
-
Анализатор остаточных газов (RGA)
-
Приводной вал
-
Керамический нагреватель
-
Детали из углепластика
-
Автоматизированная линия паллетирования
-
PECVD
-
Складской шаттл
-
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
-
Башенный вертикальный подъемник
-
PEALD
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
-
Ролик
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Описание
маркер
Описание продукции
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Использует отработанную схему электростатической фиксации, исключающую механическое повреждение пластин зажимными элементами. Оснащён прецизионной системой терморегулирования и конструкцией с обратным гелиевым охлаждением, обеспечивающими равномерный и стабильный температурный контроль. Изделие выполнено по модульному принципу, что обеспечивает удобство монтажа и демонтажа при техническом обслуживании. Возможна совместная работа с высокоскоростным вакуумным манипулятором Brooks, а также с камерами предварительного выравнивания и охлаждения: время выравнивания одной пластины менее 5 с, охлаждения — менее 45 с, что позволяет существенно повысить пропускную способность производственной линии.
Установка интегрируется с системой управления по промышленной шине, обеспечивающей стабильную передачу сигналов. Оснащена камерой с турбомолекулярным насосом и нагрузочным затвором, снижающим нагрузку на криогенный насос, что адаптирует оборудование к условиям непрерывного серийного производства. Конструкция предусматривает надёжную электростатическую фиксацию и защиту по температуре, обеспечивая высокую однородность наносимых слоёв. Оборудование подходит для серийного выпуска силовой электроники и полупроводниковых чипов.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке рельсовой системы адресной доставки для медицинских учреждений, предназначенной для логистической транспортировки в лечебных учреждениях. Решения адаптированы для отделений больниц и диагностических подразделений, охватывают ключевые сценарии: центры приготовления инфузионных растворов, центральные аптеки, лаборатории, патологоанатомические отделения, операционные, центры стерилизации и снабжения, склады.
Распылительная трубка
Данная серия систем оросительных труб специально разработана для промышленной очистки и технологического орошения. Поддерживается выбор материалов из поливинилхлорида (ПВХ) или нержавеющей стали (SUS). Система адаптирована для работы с различными средами, включая химические растворы и чистую воду.
Вертикальный конвейер
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку вертикальных конвейеров, которые полностью адаптированы для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
Система распределения высокочистых химических реагентов
Система распределения высокочистых химических реагентов (CDS/CCSS/LCSS) является ключевым оборудованием для подачи химикатов в полупроводниковой промышленности, специально разработана для производства интегральных схем, дисплейных панелей, солнечной энергетики и других отраслей. Предназначена для централизованного хранения, прецизионной подачи и безопасного распределения высокочистых кислот, щелочей, растворителей и специальных химикатов.
Детали из инженерных пластиков
Данная серия инженерных пластиковых деталей изготовлена из высокоэффективных материалов PEEK (полиэфирэфиркетон) / PI (полиимид) и включает в себя различные прецизионные компоненты, такие как контактные штыри (PIN), ролики (ROLLER), прокладки (PAD). Продукция специально разработана для применения в высокотехнологичных отраслях, включая полупроводниковую промышленность и промышленную автоматизацию.
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
Данное оборудование представляет собой интегрированную автоматизированную линию дозирования и упаковки порошкообразных материалов. Оно разработано специально для работы с различными типами порошков и полностью удовлетворяет требованиям к дозированию и упаковке как обычных порошковых масс, так и опасных грузов.
Автоматически управляемая тележка (AGV)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку автоматически управляемых тележек (AGV) и рельсовых управляемых тележек (RGV), которые полностью охватывают все отрасли промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Складской контейнер
Мы предлагаем вам комплексное решение по контейнерам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые контейнеры, металлические контейнеры и контейнеры по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии, AGV, шаттлы для контейнеров и станции комплектации.
Мостовой кран
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку мостового крана, которые полностью адаптированы для применения во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Детали из углепластика
Детали из армированного углеродным волокном пластика представляют собой высокопроизводительные конструкционные элементы, специально разработанные для сценариев промышленной автоматизации. Основа изделия — высокомодульное углеродное волокно и специальное полимерное связующее.
Система управления оборудованием склада (WCS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по системе управления оборудованием склада (WCS), включающие анализ требований, проектирование системы и развертывание, адаптированные для автоматизированных складов во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Башенный вертикальный подъемник
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку башенного вертикального подъемника, адаптированного для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки представляет собой интегрированную интеллектуальную систему, специально разработанную для механических деталей, зубчатых колёс и различных обрабатываемых заготовок. Линия объединяет функции автоматической загрузки, прецизионной ультразвуковой очистки, многоступенчатой промывки, обдува воздухом для удаления воды и горячей воздушной сушки, обеспечивая за один цикл полный комплекс операций по удалению масел, стружки, загрязнений и сушке с фиксацией состояния деталей.
