
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Использует отработанную схему электростатической фиксации, исключающую механическое повреждение пластин зажимными элементами. Оснащён прецизионной системой терморегулирования и конструкцией с обратным гелиевым охлаждением, обеспечивающими равномерный и стабильный температурный контроль. Изделие выполнено по модульному принципу, что обеспечивает удобство монтажа и демонтажа при техническом обслуживании. Возможна совместная работа с высокоскоростным вакуумным манипулятором Brooks, а также с камерами предварительного выравнивания и охлаждения: время выравнивания одной пластины менее 5 с, охлаждения — менее 45 с, что позволяет существенно повысить пропускную способность производственной линии.
Установка интегрируется с системой управления по промышленной шине, обеспечивающей стабильную передачу сигналов. Оснащена камерой с турбомолекулярным насосом и нагрузочным затвором, снижающим нагрузку на криогенный насос, что адаптирует оборудование к условиям непрерывного серийного производства. Конструкция предусматривает надёжную электростатическую фиксацию и защиту по температуре, обеспечивая высокую однородность наносимых слоёв. Оборудование подходит для серийного выпуска силовой электроники и полупроводниковых чипов.