Продукция
-
Ремонт и восстановление подержанного оборудования
-
Автоматическая линия ультразвуковой очистки и сушки
-
Поддон
-
Каркас и корпус оборудования
-
Керамический нагреватель
-
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
-
Рельсовая система адресной доставки для медицинских учреждений
-
Паллетайзеры и депаллетайзеры
-
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
-
Оборудование для мокрого процесса в производстве солнечных батарей
-
Вертикальный конвейер
-
Автоматическая линия упаковки материалов
-
Система управления складом (WMS)
-
Конвейер
-
Система контроля концентрации и регенерации технологических растворов
-
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
PVD
Данная серия установок физического осаждения из газовой фазы (PVD) для полупроводниковой промышленности предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 125–200 мм и подложек из карбида кремния (SiC), совместима с пластинами, имеющими срез или выемку. Применяется для осаждения тонких пленок металлов, сплавов, барьерных слоев и оптических покрытий.
Описание
маркер
Описание продукции
Данная серия установок физического осаждения из газовой фазы (PVD) для полупроводниковой промышленности предназначена для обработки кремниевых пластин диаметром 125–200 мм и подложек из карбида кремния (SiC), совместима с пластинами, имеющими срез или выемку. Применяется для осаждения тонких пленок металлов, сплавов, барьерных слоев и оптических покрытий. Установка выполнена в модульной камерной конструкции, оснащена турбомолекулярным насосом с нагрузочным затвором, что позволяет снизить нагрузку на криогенный насос. Для транспортировки пластин используется вакуумный манипулятор Brooks Magna-Tran 7, обеспечивающий стабильную и быструю передачу подложек.
Оборудование оснащено камерой предварительного выравнивания (выравнивание одной пластины менее 5 с) и независимой камерой охлаждения (охлаждение одной пластины менее 45 с). Передача данных осуществляется по промышленной шине, обеспечивающей высокую помехозащищенность и точный контроль технологических параметров. Камера оснащена высокопроизводительным керамическим нагревательным столиком с электростатическим зажимом (ESC), обеспечивающим равномерное и стабильное распределение температуры и высокую однородность осаждаемых пленок.
Оборудование адаптировано для серийного производства силовой электроники, микроэлектромеханических систем (MEMS) и дисплейных устройств. Имеется возможность интеграции анализатора остаточных газов (RGA) для контроля вакуумной плотности в реальном времени. Установка отличается высокой степенью автоматизации и простотой в эксплуатации и обслуживании.
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Оборудование для дозирования и упаковки порошкообразных материалов
Данное оборудование представляет собой интегрированную автоматизированную линию дозирования и упаковки порошкообразных материалов. Оно разработано специально для работы с различными типами порошков и полностью удовлетворяет требованиям к дозированию и упаковке как обычных порошковых масс, так и опасных грузов.
Система управления складом (WMS)
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по анализу требований, проектированию системы и развертыванию интеллектуальной системы управления складом (WMS), адаптированные для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Электростатический зажим (ESC)
Данный электростатический зажим (ESC) предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 6–12 дюймов, совместим с пластинами, имеющими срез или выемку. Широко применяется в установках CVD, травления, ALD и другом оборудовании для нанесения тонких пленок в полупроводниковом производстве.
Фитинги и переходники из PFA / PVDF
Данная серия фитингов и труб из материала PFA (перфторалкокси) / PVDF специально разработана для систем сверхвысокой чистоты и сильно агрессивных жидкостей. Ассортимент включает фитинги PFA (Fitting), соединительные муфты PFA (Union), угловые соединения PFA (ELBOW), тройники PFA (TEE), переходники PFA (REDUCING), а также соответствующие трубы PFA TUBE / PFA PIPE для удовлетворения различных потребностей в соединении трубопроводов.
Автоматическая линия упаковки материалов
Автоматическая линия упаковки материалов является интеллектуальным решением для последующих упаковочных операций в пищевой промышленности и производстве товаров бытовой химии, объединяющим процессы открытия коробок, укладки, запечатывания и этикетирования. Специально разработана для сценариев упаковки пищевых продуктов, обеспечивая полностью автоматизированный процесс от подачи материалов до выхода готовой продукции.
Паллетайзеры и депаллетайзеры
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку паллетайзеров и депаллетайзеров, специализирующихся на автоматизированной разборке и формировании поддонов, складских контейнеров и других носителей.
Автоматический сортировщик медицинских пробирок
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматического сортировщика медицинских пробирок, специально разработанного для предварительной обработки образцов крови в лабораториях больниц, медицинских центрах, центрах переливания крови и сторонних медицинских диагностических лабораториях.
Стеллажные конструкции
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ» по проектированию, изготовлению, монтажу и пусконаладке автоматизированных складских стеллажных конструкций, специально разработанных для всех отраслей промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
Керамический нагреватель
Данный керамический нагреватель для полупроводникового оборудования предназначен для работы с кремниевыми пластинами и подложками из карбида кремния диаметром 8–12 дюймов, используется в составе электростатических зажимов вакуумных установок CVD, ALD, травления и других процессов. Изготовлен из высокочистой керамики со встроенными нагревательными элементами, обеспечивает равномерный нагрев и высокую термическую стабильность, максимальная рабочая температура — свыше 300 °C, отличается высокой точностью терморегулирования.
Анализатор остаточных газов (RGA)
Анализатор остаточных газов (RGA) — специализированный прибор для течиискания и мониторинга газовой среды в вакуумном оборудовании полупроводникового производства, адаптированный для технологических камер CVD, травления, ALD и других процессов обработки пластин.
Детали из инженерных пластиков
Данная серия инженерных пластиковых деталей изготовлена из высокоэффективных материалов PEEK (полиэфирэфиркетон) / PI (полиимид) и включает в себя различные прецизионные компоненты, такие как контактные штыри (PIN), ролики (ROLLER), прокладки (PAD). Продукция специально разработана для применения в высокотехнологичных отраслях, включая полупроводниковую промышленность и промышленную автоматизацию.
PECVD
Данная установка плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) использует плазменную активацию технологических газов для осаждения тонких плёнок при низких температурах, позволяя наносить диэлектрические, пассивирующие и оптические покрытия из SiO₂, SiNₓ и аморфного кремния без необходимости высокотемпературного нагрева.
Поддон
Мы предлагаем вам комплексное решение по поддонам «под ключ» — от проектирования и изготовления до поставки. Продукция включает три основные серии: пластиковые поддоны, стальные поддоны и поддоны по индивидуальным заказам. Изделия подходят для всех типов складского и логистического оборудования, включая вилочные погрузчики, гидравлические тележки, автоматизированные стеллажи, штабелёры, конвейерные линии и AGV.
Озоновая система для полупроводниковой промышленности
Данная серия оборудования полного цикла для работы с озоном включает шесть основных категорий: генераторы озона, COS, ODS, DIO3, анализаторы концентрации озона и каталитические разрушители озона. Все модели прошли этап стабильного серийного производства и являются конкурентоспособными по отношению к зарубежным аналогам.
Детали из углепластика
Детали из армированного углеродным волокном пластика представляют собой высокопроизводительные конструкционные элементы, специально разработанные для сценариев промышленной автоматизации. Основа изделия — высокомодульное углеродное волокно и специальное полимерное связующее.
Мостовой кран
Мы предлагаем комплексные решения «под ключ», включающие проектирование, изготовление, монтаж и пусконаладку мостового крана, которые полностью адаптированы для применения во всех отраслях промышленности: полупроводники, дисплейные панели, новые источники энергии, фармацевтика, автомобилестроение, электроника, электронная коммерция, товары повседневного спроса, холодовая цепь, мебель, опасные химические вещества и др.
